檢索結果:共3筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="郭鴻飛" and cadvisor.raw="郭鴻飛" and ckeyword.raw="點陣列式掃描"
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以光點陣列掃描 (Point Array Scanning) 成像的數位微影系統,使用數位微反射鏡裝置(Digital Micromirror Device, DMD)作為產生光點陣列的元件,透過控…
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曝光微影技術是印刷電路板(printed circuit board, PCB)製程中的重要技術之一,近年來製程中對精密度要求不斷提高,並要求更高解析度更小的線寬,使得傳統接觸印刷製程之缺點越來越明…
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傳統的印刷電路板(printed circuit board, PCB)微影製程中,主要以具有光罩的鄰近式(proximity)或接觸式(contact)的曝光方式在光阻上進行曝光製程。然而,製作光…