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本論文探討引進工業4.0的概念與技術,對半導體製造業未來發展的影響。半導體業在摩爾定律已達物理極限的挑戰之下,繼續追求先進製程研發與大尺寸晶圓廠的建立,其所帶來繁複生產流程、生產成本與低良率都將對半…