檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="內接線" and ckeyword.raw="內接線" and ckeyword.raw="內接線" and ckeyword.raw="內接線"
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本論文分別就兩個主題進行研究討論:一為反應性濺鍍氮化鋯薄膜及其作為銅導線之阻障之研究,另一為以鎳電極系統作為生物感測器。 有關於擴散阻障層的部分,VLSL技術的發展,常利用銅作為內接線材料,但在低溫…