本研究在研製複合型光學微結構以提供較佳之導光性能，主要是利用微機電系統技術(Micro -Electro-Mechanical System, MEMS)配合光學司乃耳定律(Snell’s Law)做為主要基礎，此理論現象發生於光線行徑於可透光之均質材料時，當材料物質改變時，其中折射係數有所改變則會發生。於製程規劃中，在光罩設計中進行簡單設計，採用多重式曝光模式，搭配各種不同浸入液體的介質變化與改變擺放工作物之傾斜角度，可將單一簡單的光罩製作出複合型且可控制傾斜角度之光學微結構。經由此技術之開拓，可研製出45°傾斜角之微溝槽，經光學模擬驗證有助於光學增亮效果，提升效能可達30%以上，對背光模組之產業應用提出貢獻。

This research aims at the fabrication of complex optical microstructures to provide a better light-guiding performance. It utilizes MEMS technology cooperated with Snell’s law. Due to the light pass through an optical transparent homogenous material, the material refractive index results in light path deflection. It can be applied in the lithography fabrication process by using a certain mask design and multiple exposure mode. Using both various liquid medium and changing the workpiece inclination, the controllable complex optical microstructures can be fabricated. An example of 45° microgroove array can enhance optical brightness more than 30% verified by the optical simulation software. It will contribute the backlighting modules industry with certain applications.

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